ICP光譜儀的主要性能指標是檢出限、短時間穩定性、長時間穩定性和儀器分辯率，測試這些指標需要幾乎一整天的時間，好在這些指標在儀器安裝調試時是必需要做的，考察儀器時，可以著重查看現有同類型儀器的實際驗收報告，以證實所考察儀器的性能指標。需要說明的是，所有這些指標是以簡單水溶液標準(1~10ppm)和溶液來測試并理論計算所得，加上有些公司為了表現其“優良”的“表觀”指標，在儀器設計上采用了一些“技術”，以獲得不同條件下各自的*指標，例如用小狹縫來表演其“好”的“分辯率”，用大狹縫來展現其“檢出限”等等。因此，這些指標與實際分析時的性能往往有較大的差距，因為實際樣品中會存在的基體，而產生一定的干擾和基體效應，人們期望的是在好的分辯率下獲得好的靈敏度和穩定性。因此考察儀器時，除了要關心儀器的“表觀”指標外，更應重視儀器在實際樣品分析中所表現的真實性能?？疾靸x器時，通?？蛇x用能反映用戶實際樣品情況的某些標準樣品來進行考核，考核樣品應能盡量展現儀器的性能：既有微量、痕量元素(特別是遠紫外譜線P、S)——以反映儀器的實際檢出限和分辯率;又有主量元素——以反映全譜任意選擇的靈活性、線性和穩定性。例如銅金礦、銅合金、合金鋼等國家標樣。